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磨料在cmp作用在拋光液中
來源:
lesbicams.com | 發布時間:2022年11月29日
拋光劑是cmp拋光液的主要成分。在拋光過程中,它通過微切割.微刮擦.工件表面采用滾壓等功能,實現機械去除材料的功能。
上海鈰基拋光液供應商根據磨料成分,拋光液一般分為單磨料拋光液.混合磨料拋光液和復合磨料拋光液研磨劑在cmp拋光過程中的功能是:
1.機械動作的實施者起到機械研磨的作用;
2.材料傳輸的功能不僅是在拋光墊和拋光材料之間傳輸新鮮的漿料,還可以去除材料表面的反應物,泄漏材料的新表面,進一步減少反應。
因此,在選擇上cmp拋光液時,記得要考慮良好的分散性.流動性好.拋光液產品硬度適中,易于清洗。
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