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廣州CMP中鈰基拋光粉的制備及應用。
來源：lesbicams.com | 發布時間：2022年06月08日由于對高精度光學透鏡和集成電路化學機械拋光的嚴格要求，越來越多的人關注鈰基拋光粉的制備和應用。為了提高其拋光性能和方法的經濟可行性，采用合適的方法制備了鈰基拋光粉。以大顆粒水合丙酸鈰結晶為前體，通過簡單的煅燒合成納米級氧化鈰。研究了煅燒溫度對合成產物的物理性能的影響。
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深圳地區鈰基拋光材料中氧化鈰的發展
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鈰基拋光粉的氣相法和噴霧熱解法制備說明
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